一體化真空燒結爐由爐蓋、爐體、爐底和真空機組組成，爐殼內層是不銹鋼，外層是碳鋼，兩層之間用循環水冷卻。爐殼上設有抽氣口、觀察孔、熱電偶孔、保護氣氛進出口、防爆口等。發熱元件采用鎢絲發熱，發熱體的周圍有多層鎢片、鉬片和不銹鋼組成的隔熱屏裝置。爐底是由內外板焊接而成，中間水冷。可上下升降方便裝卸料。廣泛應用于無機材料（如陶瓷密封件、碳化硅、氧化鋯、氧化鋅、二氧化鋁等）、及金屬材料（如硬質合金）在真空或保護氣氛中燒結制備，也可用于稀土元素及其氧化物的提純處理及藍寶石退火處理。同時也適用于大專院校、科研單位進行中試批量生產使用。

一體化真空燒結爐主要優點是：

（1）真空有利于吸附氣體的去除，對燒結后期的收縮有明顯的促進作用。

（2）真空有利于去除硅、鋁、鎂、鈣及其氧化物等雜質，起到凈化材料的作用。

（3）真空可以提高液相燒結的潤濕性，有利于燒結過程中的收縮，改善合金的組織。

（4）真空是一種理想的惰性氣體。當其它一次或惰性氣體不合適，或材料容易脫碳和滲碳時，可采用真空燒結爐。

（5）減少大氣中有害成分（水、氧、氮等）對產品的污染。

粘結金屬在真空液相燒結過程中的揮發損失是一個重要問題。這不僅改變和影響了合金的終成分和結構，而且阻礙了燒結過程本身。粘結金屬的揮發損失主要發生在燒結后期（即保溫階段）。真空燒結爐保溫時間越長，粘結金屬的揮發損失越大。因此，化學雜質、水和其他材料與材料中的碳發生反應，導致一氧化碳與爐內排放。